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亚克力注塑加工LIGA技术
时间:2020-09-15 点击次数:29

亚克力注塑加工与常规大小的长方体基板相比,微型围柱的皮芯结构中皮层和剪切层占整个试样的比例要大得多。同时,虽然微型圆柱与基板均含有a和ρ品两种品型,但微结构件的芯层中仅含有a品p品分布在剪切层,规的金属加工工艺即可制造,而模内医件由于提供了微型制件主要的微结构,对其尺寸及公签的要求非常严格,需要专门的制造技术。模内嵌件通常需要非常光滑的壁面以避免脱模时发生摩擦。如果制作的亚克力注塑加工件条件允许的话,更好有小的倾角,网时在经过相当次数的注射和脱模过程后,模内嵌件的微型结构还能够保持完好状态。目前,用于制造模内嵌件的技术主要包括基于LIGA(德文Lithographie, Galanoformung、 Abformung 的缩写,意为光刻、电镀、注塑复制)的技术,例如最早使用的X射线LIGA技术,之后发展的采用紫外光明光的UV-LIGA技术,使用电子束曝光的EB-LIGA技术以及使用离子束曝光的IB-LIGA技术,其它技术包括电火花微加工技术,精密机械加工技术,激光微加工技术,反应离子刻蚀技术以及硅深刻蚀技术等”"。


小的设备尺寸和合模力:因为亚克力注塑加工件尺寸很小,相应的模具和注射单元也可缩小,亚克力注塑加工机可以小型化以避免材料和能源浪费。虽然微成型过程注型压力较高,但由于产品尺寸小,分型面也小,因此较小合模力就可满足

LIGA技术是目前制作具有超深宽比结构模内联件效果更好的技术,现已成为厚胶曝光获得深结构的代名词,LIGA技术最早用X射线,故又称为X射线LIGA技术,是由德国Karsruhe核技术研究所在20世纪80年代初首先提出,最初目的是为了开发一“ 种用于提炼铀同位来的微喷嘴的制造技术(421由于x射线的强穿透力,通过它既可以获得毫来量级深度的曝光,又能达到微米量级的横向尺度的分期率,可实现传统精密机械加I无法制作的微小金属或塑料制件,白开发以来很快成为制作MEMS微型器件的种非常重要的加工技术。但x射线通常由同步辐射装置产生,需要巨额资金投入,限制了LIGA 技术的使用推广。对于大多数研究者而言,UV-LIGA.电火花微加工以及精密机械加工技术更为适用,方面这些技 术能满足绝大多数模内 眼件对尺寸和公差的要求:另一方面,这些技术更经济实用。


亚克力注塑加工条件下,当模其中微结构的纵横比小于2时,聚合物熔体在微结构中的充填性能主要受到微型注型工艺参数的影响,当微结构的纵横比增大或微结构尺寸减小时,儿何因素如模具微结构的儿何形状和尺寸等对聚合物熔体充填行为的影响会增大。模n表面粗械度对培体的充填行为也有明显的影响。通常情况下,当模具表而粗糙度增大时,聚合物熔体的充模流动长度减小。这主要是因为当表面组精度增大时,培体和核腔使面的传热接触面积增大,导致培体冷却速本增加,进而影响模腔的充填:另方面,模具表面和精度的增大使得培体在愤胞内流动时受到的用力增加,从而阳的培体的充模流动,因此,


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